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• Laser開蓋機
• Fiber / Nd YAG Laser
• 桌上型
• PL201D – 不需滴酸
• Plasma / RIE 並存
• ~8”
• High aspect ratio
• 可2 steps持續運行
• Microwave Plasma Etching / Decap System
• 完全不傷chip
• 全自動(含清洗)
• 酸開蓋機
• 硫酸 / 硝酸 / 混合酸
• 可做飽和酸
• 可室溫開蓋
• Auto Curve Tracer
• ~3000 pins
• 3 mSec / pin